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微電子用超純水設備技術要求與設備性能
發布日期：2020/6/19 訪問次數：948 來源：未知 作者：網站管理員
微電子用超純水設備是利用一種將離子交換技術、離子電遷移技術和離子交換膜技術相互結合在一起的超純水工藝技術。設備已經屬于科技綠色環保的技術，微電子用超純水設備的產水水質的電阻率可以達到18.2兆歐以上。
微電子用超純水設備技術要求
1、采用全自動控制(同時亦可采用手動控制)，系統運行時可設定自動反洗、再生程序。
2、一級反滲透和二級反滲透設有回流管道，設備設有化學清洗裝置和消毒裝置反滲透膜采用美國進口反滲透膜，以保證設備能長期穩定運行。
3、反滲透管路采用不銹鋼和UPVC等優質材料。
4、在第一級反滲透和第二級反滲透設備中均裝有在線電導檢測儀。
5、反滲透系統設有低壓保護和高壓保護開關。
6、反滲透水回收率可調，一級反滲透回收率60-70%，二級反滲透回收率70-80%。
7、循環輸送管道裝有紫外線殺菌器和微孔過濾器，保證水符合衛生要求。
微電子用超純水設備性能
1、主要零部件均采用世界名牌產品，經CAD設計，技術先進，性能可靠、產水性能優良。
2、前置預處理保護裝置，確保高壓泵及反滲透膜不受硬物損壞。
3、脫鹽率高，運行壓力低的卷式復合膜提高了系統效率，并除低了運行成本。
4、產品濃縮水各設有流量計，以監視并調節運行出水量及系統回收率。
5、在線電導儀表連續監測產品水質，帶有設定值和報警。
6、進水及排水系統壓力表監測反滲透壓差，提示清洗時間，全面的系統監視，自動的儀表顯示。
7、靈敏的高壓、低壓開關，防止在異常狀況下對設備的損壞，確保系統的正常運轉。
8、先進的膜保護系統定時沖洗膜表面，降低污染速度，延長膜使用壽命。
9、微電子用超純水設備脫鹽率95%以上，單支膜脫鹽率超過99%，操作經濟。具有標準性完全根據用戶要求，進行最合理設計。
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